3月30日晚间，中微公司披露收购草案，拟通过并购国内领先的化学机械抛光(CMP)设备供应商——杭州众硅控股权。据了解，这是中微公司成立二十余载来的首次以发股方式实施控股权并购。中微公司作为国内等离子体刻蚀和薄膜沉积等干法设备的领军者，已在65纳米至3纳米及更先进制程领域实现量产，然而在湿法工艺领域，特别是与刻蚀、薄膜并称为前道核心工艺的化学机械抛光(CMP)设备，中微公司此前尚存空白。杭州众硅正是填补这一空白的关键拼图，作为国内少数掌握12英寸高端CMP设备核心技术并实现量产的企业